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用于激 光退火机的监控方法

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对所述 监控片进行颗粒水平的测量,获得颗粒测量后值;

采用快 速热退火的方法对所述监控片进行退火;在所述 监控片上注入过硼;

在所述 激光退火机内采用第二功率值对所述监控片进行激光扫描,所述第 二功率值大于所述第一功率值;

对所述 监控片进行方块电阻阻值的测量,获得方 块电阻阻值的测量值。本发明用于激 光退火机的监控方法在完成激光退火机上所需的两种日常监控流程的前提下,有效的节约了监控片,降低制造成本。

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